一种光刻机用混合光源发生装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约7.15千字
约 8页
2023-03-15 发布于北京
举报
版权申诉

一种光刻机用混合光源发生装置.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种光刻机用混合光源发生装置，包括激光源、LED光源组件、激光限位板、光源基座和底座，所述激光限位板、光源基座和底座从上到下顺序排列；所述光源基座的中心设有激光源安装位，所述光源基座上还设有围绕所述激光源安装位分布的LED光源安装位，所述激光源的一端贯穿所述激光限位板，另一端安装在所述激光源安装位上；所述LED光源组件安装在所述LED光源安装位上；所述底座与光源基座连接形成一空腔，所述底座上设有出光口；其中，所述激光源与所述出光口位于同一轴线上。本实用新型中，激光源作为主光源，L

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213581735 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022800515.3 (22)申请日 2020.11.28 (73)专利权人广东科视光学技术股份有限公司