1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种可调节式石英舟.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约4.69千字
  • 约 6页
  • 2023-03-15 发布于四川
  • 举报

一种可调节式石英舟.pdf

    本实用新型涉及一种可调节式石英舟，包括底杆、固定架、翻转架以及限位杆；所述底杆的底端设置有支脚，所述固定架与底杆上端固定连接，所述翻转架与底杆两端铰接；所述底杆上设置有底定位条，所述固定架上设置有固定定位条，所述翻转架上设置有翻转定位条，所述底定位条、固定定位条以及翻转定位条上均设置有定位凹槽；所述限位杆与固定架上的销轴铰接，所述限位杆上设置有卡槽，所述卡槽与翻转架上的卡柱的位置相对应。本实用新型一种可调节式石英舟，具备变形调节能力，可根据晶圆硅片的尺寸进行翻转调节，从而实现对多种不同规格的晶圆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213583725 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202023300918.8 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人 昆山佳鹿石英有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >