一种真空镀膜用均匀加热装置.pdfVIP

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2023-03-16 发布于四川
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一种真空镀膜用均匀加热装置.pdf

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本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种真空镀膜用均匀加热装置，包括加热板,所述加热板的两端均固定连接有侧板，两个所述侧板上均固定连接有第二轴承，其中一个所述第二轴承内轴面固定连接有第一转轴，另一个所述第二轴承的内轴面固定连接有第二转轴，所述第一转轴一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板，所述第二转轴上固定连接有第二固定板，所述第二固定板上固定连接有第一轴承，所述第一轴承的内轴面固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆螺纹贯穿所述第一固定板，所述第一转轴另一端传动连接有电机。本实用新型具有保证工件均匀受热的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213624360 U (45)授权公告日 2021.07.06 (21)申请号 202022665707.8 C23C 16/52 (2006.01) (22)申请日 2