一种镀膜设备的观察结构及镀膜设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约8.88千字
约 9页
2023-03-16 发布于四川
举报
版权申诉

一种镀膜设备的观察结构及镀膜设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及一种镀膜设备的观察结构，镀膜设备包括真空室，包括：遮挡部件，设于所述真空室的室壁的观测孔内，所述遮挡部件包括遮挡部和镂空部；透明罩体，对应设于所述观测孔所在的真空室的外壁上。本实用新型还提供了一种具有镀膜设备的观察结构的镀膜设备，有效的减小的观测孔的观测面积，防止了观测孔处发生异常起辉反应或打火现象，从而避免了异常起辉反应或打火现象对真空室内的化学气相沉积工艺的干扰问题；同时，还避免通过观测孔观察时，因异常起辉现象的辉光过于强烈，而刺激双眼的情况，避免了出现射频泄漏情况的概率，也减

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213624375 U (45)授权公告日 2021.07.06 (21)申请号 202022789255.4 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙