一种自动送料的晶圆加工用切片装置.pdfVIP

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2023-03-16 发布于四川
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一种自动送料的晶圆加工用切片装置.pdf

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本实用新型公开了一种自动送料的晶圆加工用切片装置，包括装置本体、电动伸缩杆、底板、伺服电机和切割片，所述装置本体的内侧中部固定安装有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的下端固定安装在底板上，所述底板的左端安装有齿条，且齿条的内侧安装有圆齿轮，所述活动盘的中部固定连接有驱动螺杆，且驱动螺杆贯穿安装在移动板的中部，所述移动板的左侧上端安装有定位架，所述导向螺杆的下端安装有竖向压块，且竖向压块上固定安装有限位架。该自动送料的晶圆加工用切片装置，能够对硅晶棒起到良好的限位固定作用，防止硅晶棒在进行切片加工时出现松

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213601848 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202023325655.6 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人苏州晨芯微电子有限公司