蒸镀设备.pdfVIP

下载本文档

2
0
约8.93千字
约 8页
2023-03-16 发布于四川
举报
版权申诉

蒸镀设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及一种蒸镀设备，包括坩埚、支撑组件和称重装置，所述坩埚用于加热蒸镀材料并使所述蒸镀材料气化，所述支撑组件包括坩埚支腿，所述坩埚支腿具有能够容纳所述坩埚的安装槽，所述称重装置设置于所述支撑组件上，所述坩埚安装于所述安装槽，且所述称重装置能够检测所述坩埚的重量。通过在支撑组件上设置称重装置，称重装置能够实时检测坩埚的重量以获得蒸镀材料的实时消耗量，有利于在蒸镀作业中对蒸镀材料消耗量以及蒸镀材料在基片上的沉积量进行把控。当蒸镀材料在基片上的沉积量达到设定值时，可使坩埚停止工作，减少蒸镀材料

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213624348 U (45)授权公告日 2021.07.06 (21)申请号 202022467880.7 (22)申请日 2020.10.30 (73)专利权人乐金显示光电科技（中国）有限公