一种小坩埚生长大晶体的多坩埚持续补料生长系统.pdfVIP

一种小坩埚生长大晶体的多坩埚持续补料生长系统.pdf

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本使用新新涉及一种小坩埚生长大晶体的多坩埚持续补料生长系统,包括圆柱形的生长坩埚、补料坩埚和化料坩埚,补料坩埚和化料坩埚内均设置有可升降的热电偶和搅拌器,生长坩埚、补料坩埚和化料坩埚外部均设置有加热装置,补料坩埚与生长坩埚之间连接有两个连通管Ⅰ,补料坩埚底部与化料坩埚底部之间以及补料坩埚上部与化料坩埚上部之间均连接有连通管Ⅱ,化料坩埚上方设置有多晶料槽,多晶料槽与化料坩埚之间连接有输料管。生长坩埚尺寸更小,有利于固液界面的控制,保证了各部分熔体相互循环流通,又相对稳定独立。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218621138 U (45)授权公告日 2023.03.14 (21)申请号 202223193724.1 (22)申请日 2022.11.30 (73)专利权人 山东大学 地址 250100

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