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- 2023-03-21 发布于重庆
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半导体级单晶硅炉行业发展概况
半导体级晶体生长设备行业发展
根据终端应用领域不同,晶体生长设备主要分为两类,即光伏领域和半导体领域的晶体生长设备,其中,光伏领域晶体生长设备的下游应用行业为光伏硅片,主要用于制造电池片,被广泛应用于光伏电站、屋顶分布式光伏发电等;半导体领域晶体生长设备的下游应用行业为硅片/碳化硅材料市场,主要用于制造芯片,应用于通信、消费电子、汽车、工业等领域。
半导体级硅片对晶体纯度要求极高,为11N(99.999999999%),缺陷率控制要求为μm/nm级,金属含量控制要求为痕量级(含量在百万分之一以下的组分),氧含量控制要求为ppma级(百万分比原子浓度),对于设备热场
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