一种新型半导体可靠性测试探针.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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一种新型半导体可靠性测试探针.pdf

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本实用新型公开了一种新型半导体可靠性测试探针，属于半导体检测技术领域，包括顶板，所述顶板底部表面安装有套管，所述套管内壁表面开设有内螺纹，所述套管底部表面设有限位管，所述限位管外壁表面顶部开设有外螺纹，所述限位管右侧壁开设有通孔，所述限位管内腔插接有测试探针主体，所述测试探针主体右侧壁顶部开设有卡槽，所述限位管内腔顶部设有塞块。本实用新型通过套管和限位管相互配合，既能对限位管安装作用，又能方便限位管后期的拆卸维护，并且弹簧，可缓冲测试探针主体在对半导体测试的压力，同时限位螺栓，可起到对测试探针主

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213689714 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022147538.9 (22)申请日 2020.09.27 (73)专利权人深圳新驱动力科技有限公司