用于紫外微加工设备的通用加工载台装置.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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用于紫外微加工设备的通用加工载台装置.pdf

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本实用新型属于激光加工设备技术领域，涉及一种用于紫外微加工设备的通用加工载台装置，包括基板、固定于基板上方的加工载台和可拆卸的固定于加工载台上方的工件托盘，所述工件托盘上设有若干废料孔，所述加工载台包括一个位于工件托盘下方的集尘腔，所述集尘腔具有一个连接到负压集尘风机的集尘口，所述集尘口到负压集尘风机的管道上设有集尘通断开关。本装置能够吸除紫外微加工产生的废料，在适应不同的工件尺寸时只需要替换统一外形、不同内部图形的工件托盘，有通用性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213672470 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202021928453.8 (22)申请日 2020.09.07 (73)专利权人苏州深河激光科技有限公司