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本实用新型公开一种镀膜设备，涉及太阳能电池技术领域，以解决相关技术中采用辅助加热管后，沿工艺腔轴向分布的基底镀膜厚度不均的技术问题。该该镀膜设备包括工艺腔和设在工艺腔内的辅助加热装置。工艺腔具有相对的腔口和腔尾。辅助加热装置包括沿着预设方向分布的多个加热段，多个加热段串联在一起。各个加热段的单位尺寸参数沿着预设方向按照预设规律变化。每个加热段的单位尺寸参数为：在预设方向的单位长度内加热段的尺寸参数。各个加热段的单位电阻值沿着预设方向先降低再增加。每个加热段的单位电阻值为：在预设方向的单位长度内加
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213680882 U
(45)授权公告日 2021.07.13
(21)申请号 202021429595.X
(22)申请日 2020.07.17
(73)专利权人 宁夏隆基乐叶科技有限公司
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