推舟装置以及推舟系统.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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推舟装置以及推舟系统.pdf

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本实用新型公开了推舟装置以及推舟系统，其中推舟装置，用于将载片舟推入炉管设备的多个炉管内或者从所述炉管内推出，包括：第一机架；第一搬送部，安装到所述第一机架，可沿Z轴方向驱动；至少一个第二搬送部，安装到所述第一搬送部并被所述第一搬送部驱动，所述第二搬送部可沿垂直于Z轴方向的X轴方向驱动；至少一个第一承载部，用于承载所述载片舟，安装到所述第二搬送部并被所述第二搬送部搬运，以将所述载片舟推入所述炉管内或者从所述炉管内推出。根据本实用新型的推舟装置，能够提高推舟装置的使用效率，并降低推舟系统的成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213660366 U (45)授权公告日 2021.07.09 (21)申请号 202022483885.9 (22)申请日 2020.10.30 (73)专利权人深