《中国机械工程路线图》微纳制造技术.pdf

第二节 微纳制造技术 一、概述 微纳制造技术指尺度为毫米、微米和纳米量级零件，以及由这些 零件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技 术。微纳制造主要研究特征尺寸在微米、纳米范围的功能结构、器件 与系统设计制造中的科学问题，研究内容涉及微纳器件与系统的设 计、加工、测试、封装与装备等，是开展高水平微米纳米技术研究的 基础，是制造微传感器、执行器、微结构和功能微纳系统的基本手段 和基础。微纳制造以批量化制造，结构尺寸跨越纳米至毫米级，包括 三维和准三维可动结构加工为特征，解决尺寸跨度大、批量化制造和