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半导体专用工艺废气处理设备行业发展基本情况
全球半导体设备市场规模
2016-2020年，全球半导体检测和量测设备行业市场规模保持高速增长趋势。根据数据，2020年全球半导体检测与量测设备行业市场规模达到76．5亿美元，同比增长20．1%，2016-2020年均复合增长率为12．6%，预计2022年市场规模将超90亿美元。
根据产品类型，检测设备可细分为无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检测设备等；量测设备可细分为三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备（晶圆介质薄膜量测设备）、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。
在半导体检测和量测设备市场各类设备占比中，检测设备占
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