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一种用于砷化镓位错腐蚀的放置篮.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于四川
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一种用于砷化镓位错腐蚀的放置篮.pdf

    本实用新型涉及晶体加工技术领域，尤其涉及一种用于砷化镓位错腐蚀的放置篮，包括两块固定板，两块固定板之间安装有底板，底板上安装有若干分隔板，两块固定板上安装有手提架，两块固定板上穿设有第一滑杆，两块固定板上穿设有第二滑杆，两块固定板上均安装有锁紧组件，锁紧组件与第一滑杆连接，用来解决在砷化镓KOH腐蚀过程中，用镍丝缠绕的方式容易划伤晶片，使晶片上产生大量的划痕，影响腐蚀效果；并且每一张晶片都必须缠绕镍丝，需要消耗大量的时间和人力，工作效率极低；同时对镍丝的使用消耗较大，增加了工作成本的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213706435 U (45)授权公告日 2021.07.16 (21)申请号 202022183250.7 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司

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