1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种晶圆切割环的自动化检测装置.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约4.89千字
  • 约 7页
  • 2023-03-18 发布于北京
  • 举报

一种晶圆切割环的自动化检测装置.pdf

    本实用新型涉及一种晶圆切割环的自动化检测装置，包括机架，输送装置，检测装置和定位装置，所述输送装置设置在机架上，检测装置设置在输送装置上方，检测装置包括测距器和安装架，测距器设置在安装架上，所述定位装置设置在输送装置两侧，定位装置包括基座，压板和弹簧，所述压板一端与基座枢轴连接，压板的底部设有球形凸部，压板的底部设有弹簧。本实用新型的一种晶圆切割环的自动化检测装置能够实现自动化批量检测，有效提升了检测效率和精度；此外，能够多个位置检测，更全面判断产品质量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213688233 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202023071352.6 (22)申请日 2020.12.18 (73)专利权人 苏州恩斯贝格精密机械有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >