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- 2023-03-18 发布于四川
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本实用新型涉及一种环件中的凸起构件及包括其的钽环，所述凸起构件的顶部设有凹槽；所述凹槽的中心线处设有凸台；所述凸台的中心线处设置有螺纹孔；所述凸台的高度大于所述凹槽的深度；所述凸台的高度与所述凹槽的深度的差值≥3mm。本实用新型中，通过对凸起构件高度的重新设计，将现有技术中的凸起构件中凹槽的外壁或凹槽中凸台的高度的重新调整并且将凸起构件的整体高度缩减0.5mm，使得安装后的钽环中凸起构件无松动现象，对溅射过程无影响，使用容错率高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213708470 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202021620098.8
(22)申请日 2020.08.06
(73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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