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一种固晶机用的晶圆移动平面工作台.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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一种固晶机用的晶圆移动平面工作台.pdf

    本实用新型公开了一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，属于工作台技术领域，一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，包括箱体、工作台本体和水箱，所述箱体内壁滑动连接有支撑板，所述支撑板上转动连接有丝杆，所述工作台本体与丝杆螺纹连接，所述工作台本体顶部内壁固定连接有循环水管，所述支撑板底部分别固定连接有电机和活塞，所述电机输出端固定连接有转动轴，所述转动轴上固定连接有曲轴，所述曲轴与活塞之间转动连接；本实用新型结构简单，操作便捷，通过电机与活塞的相互配合达到对工作台进行散热，通过电机与丝杆的相互配合达到对工作

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213691994 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022956925.7 (22)申请日 2020.12.09 (73)专利权人 深圳市晨微技术有限公司

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