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- 2023-03-18 发布于北京
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本实用新型提供一种半导体检测探针平台,包括顶台和底座,底座固定连接在顶台的底端,顶台的顶端固定连接有检测镜电控装置,底座的顶端固定连接有平台,平台的顶端固定连接有控制装置,控制装置的底端固定连接有检测镜,控制装置和检测镜电控装置之间通过导线连接;在检测镜对半导体外表面进行检测的时候,下方两侧的探针便于对半导体进行电极检测,同时探针的底端位置设置在检测镜的下方位置,也便于检测镜对探针和半导体之间的接触进行检测,通过检测盘,顶部呈顶部表面呈阶梯状梯形内凹设置,便于对半导体进行放置,同时配合灯柱,对半
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213689843 U
(45)授权公告日 2021.07.13
(21)申请号 202022917239.9 H01L 21/66 (2006.01)
(22)申请日 2
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