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体声波谐振器.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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体声波谐振器.pdf

    本实用新型公开了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括衬底，以及依次层叠设于所述衬底上的反射结构、种子层、底电极、压电层和顶电极；所述体声波谐振器包括谐振区，以及位于所述谐振区两侧的第一非谐振区和第二非谐振区，所述底电极位于所述第一非谐振区和所述谐振区，所述顶电极位于所述谐振区和所述第二非谐振区，所述种子层在所述第一非谐振区和所述谐振区的厚度大于在所述第二非谐振区的厚度。本实用新型能够提升谐振器的品质因子和机电耦合系数，提升谐振器的整体良率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213693649 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202023083463.9 (22)申请日 2020.12.18 (73)专利权人 武汉衍熙微器件有限公司

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