原创力文档- 4
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- 2023-03-18 发布于四川
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一种切片机预清洗装置，涉及硅片切片机清洗技术领域，在工作台的一侧、主辊的上方，设置顶部喷水头，在工作台的另一侧、主辊的侧方设置侧壁喷水头；在晶棒切割完升棒过程和升棒后自动进行多个方向的喷淋预清洗，在不影响正常操作的时间内完成晶棒和切割室的预清洗，从而实现切片机附带预清洗喷淋功能。本实用新型的有益效果是：通过在切割室顶部或侧壁的多个可旋转的喷淋水头，在晶棒切割完升棒过程和升棒后自动进行多个方向的喷淋预清洗，切割室和硅片在打开切割时大门暴露在空气前，已进行简单和全方位的冲洗。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213704056 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202021438637.6
(22)申请日 2020.07.21
(73)专利权人 河南盛达光伏科技有限公司
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