原创力文档- 1
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- 2023-03-18 发布于四川
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本实用新型属于生产装置技术领域，尤其一种晶圆切割用高效导向定位机构，包括平台，所述平台上方一侧设置有气缸支架，所述气缸支架内部固定连接有气缸，所述气缸一侧连接有伸缩杆，所述伸缩杆一侧连接有推板，所述平台上方另一侧设置有滑轨，所述滑轨上方设置有固定环，所述固定环内部设置有晶圆，所述晶圆一端外侧设置有定位环；所述平台下表面设置有限位环，所述限位环内部贯穿连接有推杆；本实用新型通过固定环将晶圆进行夹持，同时利用气缸、伸缩杆和推板推动固定环和晶圆向前方移动，以完成导向定位的操作，通过设置的挡板，能够对晶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213704071 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202022102566.9
(22)申请日 2020.09.22
(73)专利权人 江苏众晶半导体有限公司
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