一种TMAH废水处理装置.pdfVIP

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2023-03-19 发布于四川
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一种TMAH废水处理装置.pdf

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本实用新型涉及废水处理技术领域，具体涉及一种TMAH废水处理装置，包括以下有连接关系的处理单元：调节池，用于调节TMAH废水PH值；半透膜单元，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物；半反渗透膜分离单元，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水；离子交换树脂纯化单元，用于纯化TMAH溶液；混凝沉淀生化单元，用于处理回收大分子有机物。本实用新型能够将光刻胶等大分子有机物从系统中分离，避免在系统内停留或循环，对系统运行造成影响，并且不需要引入外部热源，节约了能量。经浓缩后的废水经过特殊的离子交换树脂

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218642601 U (45)授权公告日 2023.03.17 (21)申请号 202223336098.7 C02F 1/66 (2006.01)