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本实用新型属于晶片领域，具体涉及一种晶片清洗干燥装置，包括上箱体、中箱体和下箱体，所述上箱体、中箱体与下箱体于竖直方向上相互连通且能够一起构成密封整体，所述上箱体的顶部敞开，所述上箱体中设置有干燥组件，所述中箱体中设置有脱水组件，所述下箱体中设置有清洗组件，所述下箱体的底部安装有排水管，所述移动组件移动地设置于所述上箱体、中箱体和下箱体内部竖直方向上移动地设置有移动组件，所述移动组件能够夹持装有晶片的卡塞，并将卡塞上下移动，使得卡塞内的晶片能够在所述上箱体、中箱体或者下箱体中变换位置。本实用新型
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213716844 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202022674409.5
(22)申请日 2020.11.18
(73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司
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用户编号：7160061112000031
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