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本实用新型涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本实用新型通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213714231 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202023275536.4
(22)申请日 2020.12.29
(73)专利权人 华侨大学
地址 3
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