一种基于结构光照明的波前传感三维显微镜.pdfVIP

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2023-03-20 发布于北京
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一种基于结构光照明的波前传感三维显微镜.pdf

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本实用新型公开了一种基于结构光照明的波前传感三维显微镜，包括结构光准直光源，结构光准直光源一侧依次设有被测样品与物镜，物镜远离结构光准直光源的另一端依次设有筒镜与波前传感器。本实用新型的有益效果：利用准直结构光照明提高了现有基于波前传感的三维显微镜的空间分辨率，结构简单，操作方便，容易集成到现有的显微镜系统，可以实现透射式与反射式测量，适用于不同的被测样品与测量场景。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213748263 U (45)授权公告日 2021.07.20 (21)申请号 202022416670.5 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人龚