一种掩膜版表面缺陷检测装置.pdfVIP

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2023-03-20 发布于四川
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一种掩膜版表面缺陷检测装置.pdf

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本实用新型公开了一种掩膜版表面缺陷检测装置，包括设备本体，所述设备本体内腔的顶部固定连接有丝杠，所述丝杠的表面滑动连接有进步电机，所述进步电机的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端固定连接有激光发生器，所述激光发生器的底部固定连接有激光扫描器。通过设计的丝杠、进步电机、电动伸缩杆、激光发生器、激光扫描器等结构之间的相互配合下，可以对掩膜版表面的缺陷进行检测，增加设备对掩膜版表面缺陷检测的使用效果，也使得设备的实用性能增加，有效的解决了设备对掩膜版检测的工作效率下降设备的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213715069 U (45)授权公告日 2021.07.16 (21)申请号 202022495825.9 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人上海禾本电子科技有限公司