一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置.pdfVIP

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2023-03-20 发布于四川
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一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置.pdf

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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，包括基架上横撑、基架下横撑、基架第一竖撑、基架第二竖撑，所述基架上横撑下侧设置有所述基架下横撑，所述基架上横撑和所述基架下横撑之间通过所述基架第一竖撑和所述基架第二竖撑连接。本实用新型通过磁控溅射镀膜基片承载装置构件可调性设置，使承载装置基片承载兼容性更大，摒弃了一种玻璃规格尺寸匹配一套基片承载装置的单一模式，大大减少了基片承载装置的更换频率，同时也大大提高了磁控溅射镀膜的生产效率，通过磁控溅射镀膜基片承载装置玻璃基片防倒防滑自压紧卡扣设置，使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213739655 U (45)授权公告日 2021.07.20 (21)申请号 202022460348.2 (22)申请日 2020.10.29 (73)专利权人河南卓金光电科技股份有限公司