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本实用新型提供一种硅片花篮输送机构,包括送料装置、机架、输送装置和提升装置;通过设置输送方向相反的第一输送装置和第二输送装置;这样能双向输送物料;通过设置提升装置,第一输送装置将物料输送到提升装置,提升装置将处理完的物料输送到第二输送装置,自动化程度高;第一输送装置和第二输送装置安装在送料移动支座,送料移动支座带动第一输送装置和第二输送装置移动;且第一输送装置、第二输送装置的输送方向与送料移动支座的运动方向垂直;这样输送系统既能沿x轴输送物料,也能沿y轴输送物料,通过设置送料装置,能将输送装置上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213781998 U
(45)授权公告日 2021.07.23
(21)申请号 202022821329.8 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2020
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