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本实用新型公开了一种靶材的喷砂遮蔽治具,涉及靶材喷砂治具,它包括靶材与设置靶材上端的非喷砂部,所述靶材上设有用于遮挡非喷砂部的遮挡机构,所述遮挡机构包括设置在非喷砂部上的遮板,所述遮板上端固定连接有壳体,所述壳体下端对称连通设有多个吸气管,多个所述吸气管下端均设有吸盘,多个所述吸盘下端与靶材上端接触,所述靶材上设有用于抽出吸盘内空气的抽气机构。本实用新型能够对非喷砂部进行有效地遮挡,从而保证了喷砂后的靶材达到使用标准,另外装置能够紧紧吸附在靶材表面,喷砂过程装置不会脱落,进一步保证了靶材喷砂的质
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213731233 U
(45)授权公告日 2021.07.20
(21)申请号 202022849448.4
(22)申请日 2020.12.02
(73)专利权人 河南东微电子材料有限公司
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