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本实用新型通过一种高正料比的多晶硅还原炉,所述高正料比的多晶硅还原炉包括底盘、设置在底盘上的炉罩、设置在底盘上的电极、设置在炉罩内的硅芯、设置在底盘上的进气口和设置在底盘上的出气口,所述硅芯设置在底盘上,所述电极包括正电极和负电极,所述正电极、负电极和硅芯数量相同、且一一对应,所述硅芯通过电极与外界高压电相接,所述进气口与出气口连通炉罩外和炉罩内,所述底盘上以底盘中心为圆心依次间隔设置有硅芯同心圆和进气口同心圆,所述进气口和硅芯在每一个同心圆上均呈圆周阵列分布,所述硅芯均设置在距离相邻进气口的中
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213834563 U
(45)授权公告日 2021.07.30
(21)申请号 202021489781.2
(22)申请日 2020.07.25
(73)专利权人 上海韵申新能源科技有限公司
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