一种扩散泵冷阱.pdfVIP

下载本文档

30
0
约5.62千字
约 10页
2023-03-22 发布于北京
举报
版权申诉

一种扩散泵冷阱.pdf

1、本文档共10页，其中可免费阅读9页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种扩散泵冷阱，包括冷阱法兰，冷阱法兰上固定设置若干圈锥形环状的散热环，散热环上绕设第一冷却水管，冷阱法兰侧面设有与第一冷却水管相连通的第一进水管及第一出水管，散热环上固定设置若干个超出散热环上边缘的延伸柱，延伸柱上绕设第二冷却水管，冷阱法兰侧面设有与第二冷却水管相连通的第二进水管及第二出水管。本冷阱增大了散热面积，设置两层冷却水管增强了冷却效果。本实用新型冷却效果更好，降低了油挥发到工作腔体内，保证真空腔体运行状态下其他成分的摄入。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213823519 U (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202021763467.9 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人江阴市光科光电精密设备有限公