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本实用新型公开了一种扩散泵冷阱,包括冷阱法兰,冷阱法兰上固定设置若干圈锥形环状的散热环,散热环上绕设第一冷却水管,冷阱法兰侧面设有与第一冷却水管相连通的第一进水管及第一出水管,散热环上固定设置若干个超出散热环上边缘的延伸柱,延伸柱上绕设第二冷却水管,冷阱法兰侧面设有与第二冷却水管相连通的第二进水管及第二出水管。本冷阱增大了散热面积,设置两层冷却水管增强了冷却效果。本实用新型冷却效果更好,降低了油挥发到工作腔体内,保证真空腔体运行状态下其他成分的摄入。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213823519 U
(45)授权公告日 2021.07.30
(21)申请号 202021763467.9
(22)申请日 2020.08.21
(73)专利权人 江阴市光科光电精密设备有限公
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