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反应装置.pdfVIP

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  • 2023-03-22 发布于四川
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反应装置.pdf

    本申请提供了一种反应装置。该装置包括加热设备，具有加热腔，加热设备用于加热源材料形成反应物；第一管路，与加热腔连通，第一管路用于通入载气；第二管路，一端与加热设备连通；反应器，与第二管路的另一端连通，反应器用于采用加热后的反应物制备所需结构；第一流量检测设备，位于第二管路上，第一流量检测设备用于检测第二管路中的气体的流量；PID控制器，输入端与第一流量检测设备通信连接，输出端与加热设备通信连接并根据第二管路中的流量调节所述加热设备的温度以使所述第二管路中的流量处于预设范围内。该反应装置实现流量的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213824728 U (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202022024852.8 (22)申请日 2020.09.15 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司

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