电子工艺基础知识2.pdfVIP

半导体的材料特性 以非晶态半导体材料为主体制成的固态 电子器件 。非晶态半导体虽然 在整体上分子排列无序 ，但 仍具有单晶体 的微观结构，因此具有许 多特殊的性质 。1975年 ，英 国W.G.斯皮尔在辉光放 电分解硅烷法制 备的非晶硅薄膜 中掺杂成功，使非 晶硅薄膜 的电阻率变化 10个数量 级 ，促进非晶态半导体器件 的开发和应用 。同单晶材料相 比，非晶态 半导体材料制备工艺简单,对衬底结构无特殊要求，易于大面积生长, 掺杂后 电阻率变化大，可 以制成多种器件 。非晶硅太阳能电池吸收系 数大 ，转换效率高，面积大 ，已应用到计算