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一种降低直拉单晶氧、碳含量的排气装置.pdfVIP

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  • 2023-03-23 发布于北京
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一种降低直拉单晶氧、碳含量的排气装置.pdf

    本实用新型提供一种降低直拉单晶氧、碳含量的排气装置，包括：排气孔和排气管，所述排气孔设置在单晶炉上，与所述单晶炉成一定角度，用于连接所述排气管；所述排气管通过所述排气孔连通所述单晶炉内部，与所述单晶炉成一定角度设置，用于排出所述单晶炉内的气体。本实用新型的有益效果是有效的解决直拉单晶炉内气体流动时上炉盖拱形位置容易形成局部涡流，负压较低，导致排气效率降低，可能引起杂质聚集，导致碳高或氧高的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213866490 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202022410624.4 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人 内蒙古中环领先半导体材料有限

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