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一种检测碳化硅晶体微管密度的装置.pdfVIP

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  • 2023-03-23 发布于北京
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一种检测碳化硅晶体微管密度的装置.pdf

    本实用新型提供了一种检测碳化硅晶体微管密度的装置，包括：检测腔体、紫外发射元件和紫外光敏元件，检测腔体内设置有定位组件，定位组件用于放置待测碳化硅晶体；紫外发射元件设置在检测腔体内，且位于定位组件的一侧；紫外光敏元件设置在检测腔体内，且位于定位组件的另一侧；紫外光敏元件能够响应所述紫外发射元件发射的穿过待测碳化硅晶体后的光源。通过在定位组件两侧设置设置紫外发射元件和紫外光敏元件，紫外发射元件发射的光源通过待测碳化硅吸收后照射到紫外光敏元件，利用紫外光敏元件数值的变化检测穿过待测碳化硅晶体光源发生

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213875336 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202022443879.0 (22)申请日 2020.10.28 (73)专利权人 山东天岳先进科技股份有限公司

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