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- 2023-03-23 发布于北京
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本实用新型公开一种DNA测序装置、固态纳米孔阵列，包括：固态纳米阵列包括在硅片上刻蚀若干个金字塔，在每一个金字塔下方生长有氧化硅，在氧化硅下方沉积有氮化硅，在氮化硅下方蒸镀有第一金属电极；每个金字塔的两侧蒸镀有第二金属电极，相邻金字塔两侧第二金属电极之间形成一倒金字塔形微腔，每个倒金字塔形微腔的塔顶形成一固态纳米孔，每个固态纳米孔构成固态纳米孔阵列；第一金属电极、可变电阻、电流测量装置以及电源、第二金属电极构成若干路纵向微弱电流测量回路；通过调节可变电阻，电流测量装置测量纵向微弱电流测量回路的纵
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213866215 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202022589097.8 C12Q 1/6869 (2018.01)
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