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- 2023-03-23 发布于北京
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本实用新型公开一种DNA测序装置、固态纳米孔组件，包括：固态纳米孔组件，包括在硅片上刻蚀倒金字塔形微腔，倒金字塔形微腔的塔顶形成一固态纳米孔，倒金字塔形微腔的塔底两侧蒸镀有第一金属电极；在硅片上方生长有第一层氧化硅，在第一层氧化硅下方沉积有一层氮化硅；在氮化硅下方生长一第二层氧化硅形成金属电极氧化硅基座，在金属氧化硅基座刻蚀出一柱状空腔，柱状空腔底部的第二层氧化硅上覆盖有第二金属电极；第一金属电极、电流测量装置以及电源、第二金属电极构成纵向微弱电流测量回路；电流测量装置测量纵向微弱电流测量回路的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213866216 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202022589183.9 B82Y 15/00 (2011.01)
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