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- 2023-03-23 发布于北京
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本实用新型公开了一种接入装置以及排气系统,用于连接工艺设备尾气泵、供气设备以及尾气处理器,其特征在于,包括第一接头、第二接头以及连接管;所述连接管一端连接所述第一接头,另一端连接所述第二接头;所述第一接头与所述尾气处理器连接;所述第二接头与所述工艺设备尾气泵、供气设备分别连接。还公开了包括上述接入装置的一种排气系统,包括工艺设备尾气泵、供气设备以及尾气处理器,所述第一接头与所述尾气处理器间设有第二阀门。尾气处理器上设有接口,接口上设有柔性软管。在尾气处理器与供气设备之间增加用于扩充供气设备的接入
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213872213 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202022402206.0
(22)申请日 2020.10.26
(73)专利权人 浙江东开半导体科技有限公司
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