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- 2023-03-23 发布于北京
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本实用新型公开了一种卡盘,包括卡盘底板和第一感应器,所述卡盘底板的左端设置有第一进气口,且卡盘底板的右端连接有清洁进气口,所述第一感应器设置于第一进气口的内部,且第一感应器的右端设置有感应柱,所述感应柱的上端设置有卡盘活塞,且卡盘活塞的外部设置有密封圈,所述卡盘活塞的内部设置有中心套,且中心套的内部设置有凹槽,所述凹槽的内部设置有ITS活塞,且ITS活塞的内部设置有ITS中轴,所述ITS活塞的下端连接有第二感应器,所述ITS中轴的内部设置有钢珠,所述ITS活塞的上端设置有第一弹簧。该卡盘通过设置
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213857121 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202022380213.5
(22)申请日 2020.10.23
(73)专利权人 东莞市力博特智能装备有限公司
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