原创力文档- 12
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- 2023-03-23 发布于四川
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本实用新型公开了一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，所述流道具有进液口和出液口，所述流道可供冷却液流动；盖板，设置于所述背板主体的背面并遮盖所述流道；密封圈，设置于所述盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。使用时，可将靶材设置于背板主体的正面，使冷却液可从位于背板主体背面的流道进液口流入，从出液口流出，冷却液可将位于背板主体正面的靶材的热量带走，从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，进而可提升镀膜质量。此外，设置于盖板与流道之间的密封圈可对流道起到密封作用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213835519 U
(45)授权公告日 2021.07.30
(21)申请号 202022456979.7
(22)申请日 2020.10.29
(73)专利权人 珠海和泽科技有限公司
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