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一种碳化硅粉料氮化处理装置.pdfVIP

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  • 2023-03-23 发布于北京
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一种碳化硅粉料氮化处理装置.pdf

    本实用新型提供了一种碳化硅粉料氮化处理装置，包括炉体和坩埚，所述炉体的上端密封设置有上盖，下端密封设置有下盖，所述下盖底部开设有多个氮气进气孔，所述氮气进气孔与所述炉体内部连通，多个氮气进气孔的总面积为下盖底部面积的0.01％～2％；所述坩埚放置在炉体内部，所述坩埚用于放置待氮化处理的碳化硅粉料，所述坩埚的孔径为1～100μm。在坩埚内放置碳化硅粉料，通过下盖底部的氮气进气孔通入氮气，使碳化硅粉料处于富氮的气氛中，氮气穿过坩埚，渗透到坩埚内部，较多的氮气吸附在碳化硅粉料中，得到富氮的碳化硅粉料。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213854445 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202022484400.8 (22)申请日 2020.10.30 (73)专利权人 山东天岳先进科技股份有限公司

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