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微压力传感器的设计与制作工艺研究共3篇 微压力传感器的设计与制作工艺研究1 微压力传感器是一种用于测量微小压力的传感器，它通常用于测量生物体内的压力变化、小型机械设备的运行状态等。在制作微压力传感器时，需要考虑材料的选择、传感器结构的设计、微加工工艺的选择等方面。材料的选择微压力传感器所使用的材料需要具有优异的特性，如高灵敏度、良好的稳定性和可靠性等。常用的材料包括硅、硅玻璃等。硅是一种常用的微电子材料，具有良好的机械性能和导电性能。硅微压力传感器通常采用浅刻蚀法制作，即利用硅晶片的本身结构，通过特定的工艺，在硅上形成栅极、感应电极等，从而制作出微压力传感器丝网印刷及钝化技术。