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本申请涉及一种真空除气电镀系统,属于电镀的领域,包括电镀槽体以及与电镀槽体盖合的盖体,盖体的边缘设有与电镀槽体侧壁抵紧的柔性圈,电镀槽体的侧壁设有多个卡接扣,盖体边缘设有与卡接扣扣接的卡接台。本申请具有提高电镀系统的真空度的效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213866482 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202022996445.3
(22)申请日 2020.12.12
(73)专利权人 嘉讯科技(深圳)有限公司
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