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本实用新型提供了一种面内滑动式加热射频开关,包括基底、驱动部件、绝缘层、加热层以及滑动部件,绝缘层设于基底上,且绝缘层具有原子级平整,驱动部件设于基底内部,滑动部件的底面具有超滑面,滑动部件通过超滑面与绝缘层接触,并置于绝缘层之上,驱动部件驱动滑动部件在绝缘层上滑动。滑动部件能够在驱动部件的驱动下滑动,加热层能够朝向绝缘层上传递热量,使得绝缘层和滑动部件之间的摩擦力经加热后进一步的降低,可以实现较低的驱动电压、极高的使用寿命和功率处理能力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213877967 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202023233508.6
(22)申请日 2020.12.28
(73)专利权人 深圳清华大学研究院
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