一种内导体生产用抛光装置.pdfVIP

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2023-03-25 发布于北京
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一种内导体生产用抛光装置.pdf

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本实用新型公开了一种内导体生产用抛光装置，属于抛光技术领域。它包括振动研磨机本体，所述振动研磨机本体的顶部通过法兰连接有机盖，所述振动研磨机本体的两侧分别设有抽真空组件和惰性气体填充组件，用于对振动研磨机本体的内部进行抽真空作业和填充惰性气体作业。本装置主要依靠机盖将振动研磨机本体的顶部进行罩住，从而能避免石子和从振动研磨机本体中溢出的情况发生，另外本装置还通过抽真空组件、惰性气体填充组件的相互配合，使得位于振动研磨机本体内部的工件能够受热，并在石子因振动研磨机本体中振动的情况下，加快了工件与粘

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213858715 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202022841261.X (22)申请日 2020.12.01 (73)专利权人浙江隆微精密工业有限公司