电子工业洁净厂房设计规范.pdfVIP

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2023-03-27 发布于江苏
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电子工业洁净厂房设计规范.pdf

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《电子工业洁净厂房设计规范》 3.2.5 单向流和混合流洁净室（区）的的噪声级（空态）不应大于65dB （A ），非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB （A ）。 4.3.3 1 按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙； 5.4.2 物料净化用室与洁净室（区）之间应设置气闸室或传递窗。 5.5.6 洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定： 1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统； 2 对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超