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本实用新型提供一种工艺设备，包括工艺腔体、第一传输单元、冷却单元、第二传输单元、下料平台、第三传输单元和传送带，所述第一传输单元将具有较高温度的晶圆从工艺腔体中传输至冷却单元进行冷却，随后通过所述第二传输单元将冷却后的晶圆传送至下料平台，并由第三传输单元将所述晶圆由所述下料平台传送至所述传送带上。由于冷却后的晶圆具有较低的温度，因此晶圆背面不会与传送带发生反应，从而避免了晶圆背面残留有机物，进而避免了在太阳能电池中引入缺陷，降低了太阳能电池内部发生载流子复合的概率，从而提高了太阳能电池的开路电压
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213878127 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202120253324.1
(22)申请日 2021.01.27
(73)专利权人 宣
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