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半导体传送装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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半导体传送装置.pdf

    一种半导体传送装置，包含：传送通道，所述传送通道连接反应后的晶圆出口；温控模块，所述温控模块包括温度测量传感器和温度升降单元，所述温度测量传感器用以感知所述传送通道的温度，所述温度升降单元贴合在所述传送通道的外侧。与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果在于：通过温度升降单元对传送通道的加热等措施，能够让传送通道的环境温度保持在设定温度附近，而在设定温度附近时，传送通道的环境中的大气的湿度相对于室温环境降低70%，从而阻止了酸性物质的产生，而且，该设定温度附近时比更高的温度环境下酸化反应速率降低

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958918 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023020628.8 (22)申请日 2020.12.16 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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