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- 2023-03-27 发布于四川
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本实用新型提供一种限位装置，用于控制倾斜设置在水槽中的放置架位置，包括使所述放置架水平设置的限位组件一和限位组件二，所述限位组件一和所述限位组件二均被设置于所述水槽内，且分别位于所述放置架的下限位置处和上限位置处。本实用新型还提出设有该限位装置的满提拉清洗系统。本实用新型提出的限位装置，能使倾斜设置的放置架在上限位置和下限位置时被水平设置，保证片篮在放置架上被放置或取出时平稳托载，同时还不影响片篮中的硅片在上升清洗过程中的倾斜设置，结构简单且易于操作，与倾斜设置的放置架配合良好，保持放置架上下限
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213958914 U
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202022904194.1
(22)申请日 2020.12.07
(73)专利权人 天津市环智新能源技术有限公司
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